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)应用已悄悄深入消费者生活。尽管不常受到注意,MEMS技术在过去20年间经历了剧烈的改变。随着
智慧系统的发展可分为三个阶段。第一个阶段建立在单一基板或印刷电路板上,常应用在助听器、心律调整器等医疗装置,以及汽车的安全气囊上。第二个阶段的代表便是到处可见的智慧型手机。
第三个阶段的智慧系统则整合了感应、驱动、资料处理、通讯等进阶功能,各个系统间可相互合作,成为物联网发展的基础,所牵涉的不只是矽晶片技术,也包含聚合技术、印刷技术、奈米科技等。
在物联网的带动下,MEMS未来最大的挑战,将来自规格因素(form factor)、共同整合(co-integraTIon)、功率消耗以及成本问题。目前已出现许多解决方案,但MEMS化学感应、3D堆叠等许多问题仍待解决。
物联网中将有成千上万个应用装置,若为每个应用都提出一款感应技术,将不符合开发成本考量,因此标准化也相当重要。另外,MEMS也可大量应用在物联网中的气体与化学感应。与其他感应技术相比,MEMS能减少感应器50%的尺寸大小与制造成本。
感应融合(sensor fusion)是物联网装置的另一个发展趋势,已有不少厂商正尝试研发与薄膜电池、微处理器MCU)、ASIC、无线通讯功能整合的多重感应装置。而低功率无线电以及能源收集都是技术上的挑战。除整合上的困难外,巨量资料处理以及资料安全也都是必须解决的问题。
智慧家庭、智慧电网的感应技术虽已成形,但目前仍欠缺相对应的基础设施。基础设施将负责感应资料的上层整合、收集、诠释。在较高的抽象层面,这些功能都需要一套标准规范资料的处理。
穿戴式装置与医疗装置推动了系统级封装(SiP)技术发展,智慧家庭或智慧城市虽也应用了大量的MEMS与感应技术,但挑战却不尽相同,像是智慧家庭或智慧城市在规格因素方面便没有那么大的压力。
智慧汽车则又是完全不同的领域,智慧汽车应用可分为非安全应用与安全应用。非安全应用基本上与消费者市场的MEMS相似,而在安全应用方面,已有像是整合了加速计、ASIC、压力感应功能等智慧SiP技术出现。lw
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移动设备的广泛应用增加对移动过程中各种参数的检测需求。ADXL345三轴数字
在物联网消费电子、汽车、工业控制等领域无疑是很多用武之地的。在之前工业系统状态监测
。此后的半个多世纪以来,由于航天、航空和航海领域对惯性测量元件的需求,各种新型
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,是微机械传感器中最重要的一种,属于惯性感器。智腾微电子生产的SiA200系列Mems
主要用于航空、航海等中高端惯性领域,具有体积小、高可靠、高稳定等特点。
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从原来大的尺寸逐渐往小型化发展可以应用在各行各业并且在性能上更上一层楼,给人们的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。 Mems的
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以集成电路工艺和微机械加工工艺为基础,将电子原件和机械原件集成在一块芯片上,具有体积小、质量轻、成本低、能耗低、集成度高等一系列的优点,微
度的一种常用方法是集成陀螺仪的输出。尽管这种方法很简单,但与零偏置稳定性
的运用现状: (1)MEMS传感器在汽车产业中的应用 (2)MEMS运动传感器在移动电线)光标或游戏机控制 (4)惯性导航 (5
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刺激是与重力相关的刺激。在实践中,可以对信号输出执行信号处理以从输出信号中去除高频内容,因此可以容忍一些AC
可为CBM、结构健康监控(SHM)、资产健康监控(AHM)、生命体征监测(VSM)和物联网无线传感器网络等应用提供解决方案。然而,在有如此多
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